第一一一八章 浸没式光刻系统遇到难题（1 / 2）

800n程工艺的专利技术对于GCA来说如同鸡肋，但对于BSEC如同神助，掌握后就能跨越1u程工艺，掌握800n程工艺技术。

拥有了193nArFi准分子激光器的制造技术和800n程工艺的专利技术，但BSEC还不能生产自主知识产权的1u程工艺的光刻机。

为了将来不被美国政府卡脖子，未雨绸缪，BSEC要掌握生产光刻机的三大核心技术：光源系统、光学系统和工作台系统，不断升级换代。

叮嘱邓国辉，BSEC光刻机光源研究所研究清楚GrF准分子激光器的工作原理和制造技术，光刻机光源公司自己生产；叮嘱陈伟长，BSEC光刻机光学研究所自己研制成功6英寸晶圆和1u程工艺的光学镜头和反射镜头，光刻机光学公司自己生产。

孙健承诺，BSEC在2年内生产具有自主知识产权的6英寸晶圆和1u程工艺的光刻机，淘宝控股公司掏钱奖励项目组200万元；在4年内能生产一条具有自主知识产权的6英寸晶圆和1u程工艺的半导体生产线，他从淘宝控股公司持有的BSEC股份中，拿出200万股奖励给做出重大贡献的科技和生产人员，但在规定时间内，完不成任务，就开始裁员！

奖励和裁员双管齐下，管理层、技术人员和普通员工的压力剧增。

邓国辉拿到ArF准分子激光器专利技术，同钱富强仔细研究一番后，如醍醐灌顶，豁然开朗，申请2000万元的研发经费，带领光刻机光源研究所按照GCA提供的技术图纸，消化吸收ArF准分子激光器的专利技术……

1995年2月，经过一年半的攻关，光刻机光源公司生产出一台6英寸晶圆和1u程工艺的光刻机。

1995年9月，BSEC生产了一条有自主知识产权的6英寸晶圆和1u程工艺的半导体生产线，填补了国内技术空白，打开了国内市场，终于抛掉三年巨亏的不利局面，1995年度实现净利润11600万元。

1996年4月20日，BSEC拿到公开发行新股的额度，6月11日，在鹏城证券交易所公开发行了15000万股新股（其中1000万股职工股），每股发行价6元，融资8.73亿元（扣除发行费用），其中8亿元用于研发8英寸晶圆和500n程工艺光刻机，0.73亿元用于补充公司流动资金。

当时BSEC研制的6英寸晶圆和800n程工艺的光刻机已经临近尾声。

“邓院长，研究院继续研发8英寸晶圆和500n艺的光刻机。”

“好的，董事长！”

“魏总，公司争取早日生产出一条具有自主知识产权的6英寸晶圆和800n程工艺的半导体生产线，到时，PGCA率先订购一条。”

“好的，董事长！”

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“董事长，经过近2年的联合攻关，研究证实，我们用去离子水等手段，保持水的洁净度和温度，使其不起气泡，用去离子水作为曝光介质，虽然光源波长还是用原来的193n但通过去离子水的折射，能使进入光阻的波长明显缩小，使用浸没式技术突破193n长可行，我们如今遇到的最大难题是我们自己制造的光学镜头不能满足突破193n长光刻光学器件的技术要求。”

浸没式光刻技术联合攻关组组长陈伟长院士给孙健汇报浸没式光刻技术的最新进展，总经理魏建国、院长邓国辉院士、副院长欧阳民院士、联合攻关组副组长夏季常院士和光源研究所所长钱富强研究员也在场。

1994年，钟德伟教授和夏季常教授凭借研究成功全球独一无二的光刻机悬浮式双工作台系统技术项目成果，晋升工程院院士。

1995年，陈伟长研究员凭借研究成功1u程工艺的光学系统技术项目成果，欧阳民研究院凭借研制成功6英寸晶圆技术项目成果，同一批晋升工程院院士。

同年，钱富强副研究员在自主制造ArF准分子激光器的工作中做出重大贡献，晋升研究员，担任光刻机光源研究所所长。

邓国辉院士不再兼任光刻机光源研究所所长，集中精力主持光刻机半导体研究院的整体研究工作。

浸没式光刻技术在BSEC属于严格保密的研究项目，属于在研项目的第一号，由光刻机光学研究所、光刻机光源研究所和光刻机自动化研究所相关研究人员和高级技师组成，联合攻关组由陈伟长院士和夏季常院士领衔，所有参与者同BSEC签订了保密协定。

“陈副院长，据我所知，虽然蔡氏公司专门为GCA和ASML研发成功的Starlith 900，是世界上第一个批量生产的 193n长光刻光学器件，也是第一个可以实现100n下分辨率的系统，但浸没式光学镜头与众不同，蔡司公司、尼康公